把n型掺杂和共掺杂的问题,暂时搁置一下。
错题集上,关于型掺杂实验理论研究的内容,已经经历过一波抛物线的走向。
上午,在陈舟刚开始入手研究型掺杂问题时,错题集上是刷刷刷的堪比印刷机一般。
就把陈舟看过的内容全部印了上去,直至到达一个波峰。
后来,随着陈舟对问题研究的深入,错题集上记录的内容开始发生了改变。
有些旧内容被新内容覆盖,有些内容则是完全消失。
旧内容被新内容覆盖,则意味着研究方向的清晰。
而消失的内容,则代表着陈舟已经解决了相应的问题。
现在,错题集上即将再次上演一波抛物线走向。
“金刚石衬底的晶面选择……”
“反应压力、温度……”
“硼源的掺杂浓度……”
结合四十三所已经完成的10组实验数据,陈舟开始型掺杂实验的试错。
一个小时后,陈舟拿出一张新的草稿纸,在草稿纸上写下一系列的实验参数。
然后起身走到沈靖身旁,把草稿纸甩给了沈靖。
沈靖拿到草稿纸后,微微一愣,旋即开始和方结明沟通,进行模型分析。
陈舟则再次回到座位坐好。
接下来,该轮到n型掺杂和共掺杂的问题了。
n型掺杂和共掺杂的问题,相比于型掺杂,则要难上许多。
“第一次实现金刚石n型掺杂是在(111)面金刚石衬底上进行的,而且样品在很宽的温度范围内都表现了n型半导体传到特性……”
“在温度500k时,霍尔迁移率在232(v·s)……”
“但是,相对于(111)面单晶金刚石衬底表面抛光难、缺陷多、尺寸小来说,(100)面取向衬底表面具有原子级的平整程度,缺陷小,外延膜质量也优于(111)面衬底金刚石……”
“可这也并不是绝对的,而且晶面的问题,也不是最为关键的因素……”
想到这,陈舟手中的笔停了下来,习惯性的在草稿纸上点着点。
这是陈舟思路受阻时的表现。
“再梳理一遍文献资料……”
这样想着的陈舟,放下了手中的笔,将目光再次移向电脑屏幕。
手中鼠标的滚轮不断滑动,屏幕上的内容也在不断变化。
但陈舟的眼睛却一眨都不眨。
这些内容,他已经过了一遍了。
现在再看,只是寻找自己有没有漏掉的地方。
好给自己受阻的思路,打开一个缺口。
“磷的掺杂浓度?”
“电子散射机制?”
“不是这部分的内容……”
“……17ev?”
“怎么把这个数据忘了!”
看到这个内容时,陈舟的双眼瞬间明亮起来。
n型掺杂,或者说磷掺杂金刚石,之所以难。
是因为磷原子比碳原子大,很难嵌入金刚石晶格。
当磷原子进入金刚石晶格内,会引起晶格扭曲,影响金刚石中的构型、键型和电荷分布。
磷掺杂金刚石中存在大量空位,也会与磷原子形成结合力很强的磷—空位缺陷。
这种缺陷的能级位于金刚石导带底约17ev的位置上,可以补偿施主,阻碍磷原子的电离。
进而导致难以获得高质量的磷掺杂金刚石薄膜。
虽然磷的能级位于导带底以下058ev,但是这种缺陷却还是存在。
“缺陷的填补……”
陈舟手中的动作加快,鼠标的滚轮不断滑动。
屏幕上的内容被陈舟拉到了共掺杂的部分。
氮原子处于金刚