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第259章 p型、n型、共掺杂(4 / 4)

膜……”

陈舟的思路变得清晰起来,方向也逐渐明确。

在四十三所的共掺杂实验中,装置内并没有采用多余的系统作为辅助。

但其实,如果有其它系统辅助的话,可能结果会更好也说不定。

这是国外的一篇文献给陈舟的启发。

把写满的草稿纸拿到一边,换上一张新的草稿纸,再把笔芯换上满水的。

陈舟在草稿纸上写到—c系统中,采用2n5、羰基离子粉末和磷粉末在高温高压下混合,氮源和磷源,以此方法掺杂金刚石……

写完这句话,陈舟突然笑了出来。

“这么简单的道理,为什么我还想了这么久?”

相比单纯的氮掺杂金刚石,s3ch3形式的h原子更容易掺入磷—氮共掺的金刚石晶格中,提高共掺杂金刚石的质量。

因为在磷—氮共掺系统中,磷原子掺入后产生许多缺陷,形成了碳原子悬挂键,有助于氢原子掺入金刚石晶格。

而氢原子可以刻蚀s2相,有利于高质量金刚石薄膜的沉积。

“系统和氮源、磷源确定后,那共掺杂实验剩下的问题,就好解决了……”

陈舟说着,把放在一旁的几张草稿纸拿了过来。

这是在研究氮源和磷源时,针对不同情况,陈舟所做的参数研究。

这会,正好拿来验证。

一般的衬底温度、掺杂浓度、工作压力等等等等,通过错题集的试错,很快就能得到一个大致区间。

再经过分析模型的验证,再回转到错题集进一步试错。

那就成了!

把共掺杂的问题一解决,那n型掺杂的问题,也就是铺在纸面上的答案了。

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