膜……”
陈舟的思路变得清晰起来,方向也逐渐明确。
在四十三所的共掺杂实验中,装置内并没有采用多余的系统作为辅助。
但其实,如果有其它系统辅助的话,可能结果会更好也说不定。
这是国外的一篇文献给陈舟的启发。
把写满的草稿纸拿到一边,换上一张新的草稿纸,再把笔芯换上满水的。
陈舟在草稿纸上写到—c系统中,采用2n5、羰基离子粉末和磷粉末在高温高压下混合,氮源和磷源,以此方法掺杂金刚石……
写完这句话,陈舟突然笑了出来。
“这么简单的道理,为什么我还想了这么久?”
相比单纯的氮掺杂金刚石,s3ch3形式的h原子更容易掺入磷—氮共掺的金刚石晶格中,提高共掺杂金刚石的质量。
因为在磷—氮共掺系统中,磷原子掺入后产生许多缺陷,形成了碳原子悬挂键,有助于氢原子掺入金刚石晶格。
而氢原子可以刻蚀s2相,有利于高质量金刚石薄膜的沉积。
“系统和氮源、磷源确定后,那共掺杂实验剩下的问题,就好解决了……”
陈舟说着,把放在一旁的几张草稿纸拿了过来。
这是在研究氮源和磷源时,针对不同情况,陈舟所做的参数研究。
这会,正好拿来验证。
一般的衬底温度、掺杂浓度、工作压力等等等等,通过错题集的试错,很快就能得到一个大致区间。
再经过分析模型的验证,再回转到错题集进一步试错。
那就成了!
把共掺杂的问题一解决,那n型掺杂的问题,也就是铺在纸面上的答案了。